實(shí)用新型專利

三氯氫硅合成爐內(nèi)置換熱管固定結(jié)構(gòu)

一種合成爐的火焰觀察口

一種回用乙二醇收集槽

一種液封槽溢流結(jié)構(gòu)

一種液封槽濾籃結(jié)構(gòu)

一種粉塵收集回收罐

一種殘?jiān)^(guò)濾器內(nèi)置過(guò)濾網(wǎng)連接結(jié)構(gòu)

一種設(shè)有防沖結(jié)構(gòu)的放空冷凝器

三氯氫硅合成爐內(nèi)置進(jìn)氣孔板連接結(jié)構(gòu)

氫化反應(yīng)器法蘭密封結(jié)構(gòu)

氫化反應(yīng)器分布板

氫化反應(yīng)器排放反吹結(jié)構(gòu)